深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
當(dāng)前位置：?
推薦產(chǎn)品?????
商品描述
完全非接觸式的平行曝光
以高精度雷射變位計(jì)進(jìn)行平行度調(diào)整，調(diào)因?yàn)槭欠墙佑|式進(jìn)行曝光所以不會(huì)造成光罩的損傷
省空間維護(hù)簡(jiǎn)單
使用小型 Robot ，實(shí)現(xiàn) 1m×1m 的省空間規(guī)格。另外，因採(cǎi)用為 CentreRobot 的 Layout ， 所以能簡(jiǎn)單進(jìn)行維護(hù)
自動(dòng)alignment
使用具有高度信賴性的FAST社製畫像處理技術(shù)，達(dá)成高精度的自動(dòng) alignment
C to C自動(dòng)批量曝光掩模對(duì)準(zhǔn)裝置。
間隙管理完全不與掩模接觸。
當(dāng)然也支持軟硬接觸！
實(shí)現(xiàn)低成本、緊湊和自動(dòng)對(duì)齊。
三大特點(diǎn)
1完全非接觸式
平行曝光&曝光使用高精度激光位移計(jì)
調(diào)整平行度
，原樣進(jìn)行非接觸式曝光，
不會(huì)損壞掩模！2節(jié)省空間且
易于維護(hù)使用小型機(jī)器人
實(shí)現(xiàn) 1m x 1m 的空間節(jié)省。
此外，采用中心機(jī)器人
布局，便于
維護(hù)。3自動(dòng)對(duì)齊通過(guò)可靠的
FAST 圖像處理
可以實(shí)現(xiàn)高精度的自動(dòng)對(duì)齊！
