消耗少量光刻膠
多種選配功能
適用多種材料
占地空間少
無需要更換零件
自動晶圓尺寸識別
無需更改設(shè)置即可處理多種尺寸的晶圓。
從低粘度到高粘度的豐富支持。
支持200μm以上翹曲的輸送系統(tǒng)
COO減少和定制支持通過各種選項菜單實現(xiàn)。
高規(guī)格
高規(guī)格處理量:1000張/天以上
設(shè)備尺寸:大型
機器人:2臺或自走式
標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)處理量:500張/天以上
設(shè)備尺寸:中型
機器人:1臺
研發(fā)
研發(fā)處理量:100張/天或更多
設(shè)備尺寸:小型
機器人:無